微機電系統工程基礎

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更新時間: 2013-09-02

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1 微機電系統工程基礎 -圖書信息

微機電系統工程基礎

書 名: 微機電系統工程基礎


  作 者:王琪民 劉明侯 秦豐華


  出版社: 中國科學技術大學出版社


  出版時間: 2010年01月


  ISBN: 9787312024689


  開本: 16開


  定價: 38.00 元

2 微機電系統工程基礎 -內容簡介

微機電系統是20世紀末興起,並在21世紀初開始快速發展的高科技前沿領域。其所涉及領域不斷擴大,相關研究也日趨深入。《微機電系統工程基礎》主要介紹相關的工程基礎知識。《微機電系統工程基礎》共11章,較為詳細地介紹了半導體製作工藝、執行器、微系統的工作機理及製作方法和應用範圍、各種新發展的微檢測技術、微系統設計、建模方法和應注意的事項等,還重點介紹了微機電系統的固體力學、微流體力學和微尺度傳熱的基礎知識,分析了微系統中的工程特點,與傳統工程科學的區別,傳統理論在微機電系統應用中所受到的限制及其修正,微機電系統中常見的失效方式及其應對原則等。


  《微機電系統工程基礎》可供高等學校相關專業高年級選做本科教育教材,也可以供感興趣的研究生、科研人員參考之用。

3 微機電系統工程基礎 -圖書目錄

前言


  第1章 微機電系統概述


  第2章 微機電系統的製作(上)


  第3章 微機電系統的製作(下)


  第4章 常見的微型器件(上)——幾種典型的微感測器及其工作原理


  第5章 常見的微型器件(中)——幾種典型的微執行器及其工作原理


  第6章 常見微型器件(下)——幾種典型的微結構和微系統


  第7章 微檢測技術


  第8章 微機電系統相關的固體力學基礎知識


  第9章 微機電系統的設計和建模


  第10章 微尺度流體力學的相關基礎知識


  第11章 微尺度傳熱基礎知識


  參考文獻


  ……

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