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更新時間: 2013-08-27

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微機械:利用半導體技術(特別是平板印製術,蝕刻技術)設計和製造微米領域的三維力學系統,以及微米尺度的力學元件。它開闢了製造集成到矽片上的微米感測器和微米電機的嶄新可能性。

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