光學微電子凈化工程

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更新時間: 2013-08-28

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光學微電子凈化工程之定義為將一定空間範圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,並將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分佈、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求範圍內,而所給於特別設計之密閉空間。
光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,目前已是半導體、精密製造、液晶製造、光學製造、線路板製造和生物化學、醫藥、食品製造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來,由於技術之創新發展,對於產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究製造,已成為世界各國在科技發展上極為重視的項目,而我公司的設計理念及施工技術在行業中則處於領先地位。
光學微電子凈化工程一般包括:
1、 潔凈生產區
2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
3、 管理區(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、 設備區(包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)
光學微電子凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌
等顆粒 → 迴風百葉窗→初效凈化 重複以上過程,即可達到凈化目的。
光學微電子凈化工程凈化參數
換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。
溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。
雜訊≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。
光學微電子凈化工程結構材料
1. 凈化廠房牆、頂板材一般多採用50mm厚的夾芯彩鋼板製造,其特點為美觀、剛性強。圓弧牆 角、門、窗框等一般採用專用氧化鋁型材製造。
2.地面可採用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送迴風管道用熱渡鋅板製成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。
4.高效送風口用不鏽鋼框架,美觀清潔,沖孔網板用烤漆鋁板,不生鏽不粘塵,宜清潔。
光學微電子凈化工程解決方案:
凈化工程的設計過程中,應加強對光學微電子行業凈化工程設計方案分析了解,根據該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程,並結合其具體的生產工藝、生產流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據該工程的具體情況,同時還要考慮到生產廠家的經濟承受能力,綜合各種因素來確定採用何種凈化方案,這樣才可設計出一個能滿足甲方生產使用要求、工程造價合理、經濟節能實用的方案。
1、組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口
這是一個最傳統的凈化空調系統的設計方案。組合式空氣處理機組裡含有各種功能段,如混合段、初效過濾段、表冷段、二次迴風段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。
優點:
A.空氣處理效果好,因空氣經過集中處理,在送風過程中被污染程度較低。送風的溫度、濕度的控制比較精確;
B.比較適用於有集中冷源的或是較大的廠房;
C.空調冷熱源可與廠房普通空調系統合用或獨立冷熱源;
D.維修頻率較低;
E.車間的噪音低。
缺點:
A.需要有配套的冷凍機房或有放置熱泵機組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機組的空調機房,如25000m3/h的組合式空氣處理機組,常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。對於舊廠房改造項目來說比較困難空出一個20-30┫的機房的;
B.造價高。
特點:
A.建議新風經過集中處理后再與迴風混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;
C.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。
2、光學微電子行業凈化工程設計方案分析之水冷櫃機+增壓風櫃+高效送風口
與前種方案比較,這是相對比較簡單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積,水冷櫃機可以根據具體的情況布置於較小機房內或凈化車間內,增壓風櫃也可以布置於機房內或吊在機房內或在夾層內。

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