《微機電系統與微細加工技術》

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更新時間: 2013-09-13

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《微機電系統與微細加工技術》雲乃彰、朱荻編著,本書對微機電系統技術和微細加工技術進行了詳細的介紹。

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1 《微機電系統與微細加工技術》 -內容簡介

《微機電系統與微細加工技術》《微機電系統與微細加工技術》

《微機電系統與微細加工技術》對微機電系統技術和微細加工技術進行了介紹。全書共分五章,包括微機電系統和微細加工技術的發展趨勢,對微機電系統原理和設計、微細加工技術、相關的檢測技術以及微機電系統的應用等內容進行了介紹和討論。

《微機電系統與微細加工技術》可作為機械工程類或其他工程類本科生、研究生課程的教材,也可以作為其他有關技術人員了解微機電系統與微製造技術的參考書籍。 

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